应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

PVD

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX ***节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

真空泵维修的相关问题。

1，必须先泵浦外观现象是否有破损，如有破损需告知使用单

2，维修之前先了解使用单位，使用制程是什么，以便于后续处理的方式做铺垫

3，维修之前先检查泵浦是什么故障，如果是卡死就不宜通电，以免把电机烧毁

4，如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障，维修人员可以拆掉名pai那里，用扳手转动试试，如果能转动证明没有卡死，我们可以通电检查，如果卡死我们维修人员不适宜通电，以免电机烧毁

5，维修之前检查电源部分，爱德华真空泵维修哪家便宜，在没有确定之前，先问问使用单位电压是多少，有点没有图纸的，就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准，确定电压对了，方可通电运转

iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，爱德华真空泵维修选哪家，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。

iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。

维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，爱德华真空泵维修，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁。抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，爱德华真空泵维修价格，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

爱德华真空泵维修是门的技术，不是换换轴承、换换油封那么简单，客户不要把您真空泵给一家不的厂家维修，很有可能导致真空泵提前报废，从而给您的生产带来损失。