在选真空泵时就要注意要选择真空度高，抽气速率大的真空泵，如旋片式真空泵就才能满足要求;而抽滤，旋转蒸发仪要求的真空度和抽气速率相对低，所以可选择普通的真空泵就可以，爱发科真空泵维修中心，如隔膜真空泵和循环水真空泵就可以。

  隔膜真空泵根据对气体处理的不同程度可以分为一级泵，爱发科真空泵维修保养，二级泵，三级泵和四级泵，一级泵时对气体经过一次的压缩处理而达到抽气减压的作用，一级泵真空度低但抽气量大，四级泵是对气体经过四次压缩处理而达到抽气减压的作用，四级泵技术要求较高，四级泵真空度gao但抽气速率小，国内的隔膜gao做到二级，国外gao做到四级，因此真空度越高，抽气速率越大价格也就越贵，所以选择真空泵时一定要根据实际情况来选择。

适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点：

任何旋转式叶片泵的高气镇流量

允许稀释泵送的气体以便大限度地减少油的氧化

提供 PFPE 选配型

适合泵送氧气和卤代化合物

RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量，同时保持稀释到下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气，与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化，RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样，这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂，如卤素和卤代化合物。对于这些化合物，着火/不是问题，但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。

泵系列

Edwards 的坚固耐用型真空泵系列提供的极限性能，爱发科真空泵维修选哪家，同时拥有良好的抽取速度。RV 不仅运转安静，而且有优异的蒸汽处理能力。

RV3

RV3 PFPE

RV5

RV5 PFPE

RV8

RV8 PFPE

RV12

RV12 PFPE

对于旋片式机械真空泵属于爱德华真空泵为获真空度而采用的双级结构，云浮爱发科真空泵维修，这种双级旋片结构的真空泵产品在维修的过程中我们首x需要对其的工作原理进行系列的熟悉和了解，

真空泵无法启动的问题主要反映为真空泵加电后不能启动运转。当出现这种情况之后首先检查真空泵的电路部分，查看下电路部分有没有元气件烧坏、保险管是否烧毁等。

爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。

适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点

的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中

通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动

在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭

大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞

一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm

Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计，适用于多尘应用。

清洁/干燥