真空泵结构特点，转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速.
要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀，SC15D真空泵维修，而且材质为铸铁，比较脆，容易碎裂，碎裂后对泵体造成严重的磨损，严重的甚至造成泵的报废，影响生产。
EM 系列小型油封旋转式叶片电磁真空泵
EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，SC15D真空泵维修工厂，抽速为 0.7 到 28 m3/hr，具体取决于型号和级数。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备的润滑回路，可靠性高，SC15D真空泵维修哪里有，配有各种附件，可以满足您的特定应用需求。
特性和优点
E2M0.7 的噪声级非常低，仅为 43dB(A)
该泵设计合理，可进行可靠的长期运行
紧凑的尺寸
低能耗
较低的工作温度可将设备上的热负荷降到程度
该泵为独立式装置
电机完全封闭，由电机冷却风扇进行冷却并由热过载设备保护
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
气镇阀具有水蒸汽输送能力
经过检验，符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX ***节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，SC15D真空泵维修报价，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
