在选真空泵时就要注意要选择真空度高，抽气速率大的真空泵，如旋片式真空泵就才能满足要求;而抽滤，旋转蒸发仪要求的真空度和抽气速率相对低，所以可选择普通的真空泵就可以，如隔膜真空泵和循环水真空泵就可以。
隔膜真空泵根据对气体处理的不同程度可以分为一级泵，二级泵，三级泵和四级泵，一级泵时对气体经过一次的压缩处理而达到抽气减压的作用，一级泵真空度低但抽气量大，四级泵是对气体经过四次压缩处理而达到抽气减压的作用，四级泵技术要求较高，四级泵真空度gao但抽气速率小，爱发科真空泵维修，国内的隔膜gao做到二级，国外gao做到四级，因此真空度越高，抽气速率越大价格也就越贵，所以选择真空泵时一定要根据实际情况来选择。
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点：
任何旋转式叶片泵的高气镇流量
允许稀释泵送的气体以便大限度地减少油的氧化
提供 PFPE 选配型
适合泵送氧气和卤代化合物
RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量，同时保持稀释到下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气，与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化，RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样，这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂，如卤素和卤代化合物。对于这些化合物，爱发科真空泵维修公司，着火/不是问题，但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。
泵系列
Edwards 的坚固耐用型真空泵系列提供的极限性能，同时拥有良好的抽取速度。RV 不仅运转安静，而且有优异的蒸汽处理能力。
RV3
RV3 PFPE
RV5
RV5 PFPE
RV8
RV8 PFPE
RV12
RV12 PFPE
特性和优点
该泵设计合理，可进行可靠的长期运行
热过载设备可防止过热（仅用于单相型号）
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
大尺寸目视镜和宽的工作油范围
泵系列
E2M40
E2M40FX
E2M40T4
E2M80
E2M80FX
E2M80T4
E2M175
E2M175FX
E2M175T3
E2M275
E2M275T3
E2M175 与 E2M275
平时真空泵在工作前工作中及工作结束注意事项基本上跟常规真空泵维修保养一样的了。保持关注真空泵的工作状态，维修一定要及时、迅速，这样真空泵的正常运行才能得到***。
进口真空泵系列产品，在泵行业的维修项目中对于厂家在日常检查中需要进行针对性的维修类的检查和维护，爱发科真空泵维修工厂，主要的日常检查项目有检查运行的正常情况以及、真空泵背压值、报警信息察看、手阀状态、机械结构的正常与否、特气管路、管路联接以及有无漏水，这都是需要我们在日常维护检查的时候进行检查，这也是针对这款维修泵维修前的准备事项。
实践证明，Edwards 半导体真空泵能够达到运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
iH80
iH160
iH600
iH1000
iH1800
iH1800HTX
