一般用作质谱仪真空系统的前级真空泵、用作色谱仪的进样真空泵以及其它真空系统， 广泛应用于生物、医学、法医、石化、农林、生命科学、航空航天等领域。

在排除以上两个因素后， 引起真空泵抽不到极限真空度的主要原因有以下几个方面: 泵油污染， 需要换油; 泵内油过滤器堵塞， 引起压缩注油系统油路不畅， 供油不足， 导致泵体密封不严， 这时需要清洗内部油过滤器; 配油器阀门变形， 磨损或损坏， 也可导致供油不足， 这时应检查更换配油器阀门; 

真空泵维修的相关问题。

1，必须先泵浦外观现象是否有破损，如有破损需告知使用单

2，维修之前先了解使用单位，使用制程是什么，以便于后续处理的方式做铺垫

3，维修之前先检查泵浦是什么故障，如果是卡死就不宜通电，以免把电机烧毁

4，如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障，云浮真空泵维修，维修人员可以拆掉名pai那里，用扳手转动试试，如果能转动证明没有卡死，我们可以通电检查，如果卡死我们维修人员不适宜通电，E2M40真空泵维修，以免电机烧毁

5，维修之前检查电源部分，在没有确定之前，GV250真空泵维修，先问问使用单位电压是多少，有点没有图纸的，就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准，确定电压对了，方可通电运转

iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，E2M40FX真空泵维修，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。

iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。

EM18 与 EM 28

EM 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为实验室和轻工业应用的行业标准。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

泵系列

E1/E2M18

E1/E2M18 ATEX

PFPE E1/E2M18

E2M28

PFPE E2M28

应用

分析仪器

氦检漏仪

研发

前级涡轮分子泵

汽车

射束线和高能物理

超高速离心机

镀膜