尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以***真空泵在效率点运转，才能获得da的节能效果。

真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C 。

如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。

真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。

真空泵在工作第yi个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

经常调整填料压盖，***填料室内的滴漏情况正常。

定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。

真空泵在寒冬季节使用时，停车后，E2M40T4真空泵维修中心，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。

Edwards Drystar 80 干式真空泵易于安装和试运转，同时洁净、坚固、高，足以取代传统的油封泵。 GV80可处理大容量可冷凝蒸汽和颗粒负载，提供稳定的泵送性能、的维修干预和低运行成本。 Drystar 80 使用干泵技术，具备的密封设计，可消除真空制程中的污染，因此适合各种应用和环境。 Edwards真空泵 工业干泵 GV80 爪式真空泵 爱德华工业干泵 干式真空泵

概述

Edwards 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。

我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。

Drystar 泵可以与 Edwards EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。

有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，E2M40T4真空泵维修哪家强，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，E2M40T4真空泵维修选哪家，只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能更好，尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是：油雾分离器（排气滤芯）和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换！油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养，要全部更换真空泵油

适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP

IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，佛山E2M40T4真空泵维修，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。

适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。

3 万亿次循环 MTBF

与原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%

提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件

机械真空泵常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。

解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁。

抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

应用

一般清洁泵送

电子扫描显微镜 (SEM)

射束线和高能物理

前级涡轮泵

超高速离心机

的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视

泵系列

下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽取速度更高的，极限压力***，功耗***，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了新的端部密封技术，***延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可完全进行现场维修。

nXDS6i

nXDS10i

nXDS15i

nXDS20i

nXDS-C