爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
功能和优势
可靠耐用的韧性铁构造
具有重复泵送能力。
能够控制泵温
优异的灰尘和蒸汽处理能力
具有一劳永逸的性能。
使用现有过滤器可以很好地处理灰尘。
降低了噪音和振动。
排放的烟雾中不含油。
无需进行油回收。排放区域环境清洁。
延长了正常运行时间。
节省维护成本。
可连续在大气压下泵送，对泵无有害影响。
高度可靠的干燥机械装置，已经过 60，000 多套产品实际验证。
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，莱宝SP630真空泵维修价格，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，莱宝SP630真空泵维修厂家，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能更好，尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是：油雾分离器（排气滤芯）和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换！油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养，要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用，梅州莱宝SP630真空泵维修， 可提高处理能力，同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比，莱宝SP630真空泵维修工厂，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
真空泵维修：确定极限真空度，在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的jia工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。
应用
目标应用包括：
PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源
客户也将 iGX 用于一系列 清洁和轻负载应用。
